シゲサト　ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou   重里　有三    所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2012
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	High-rate deposition of Ta-doped SnO2 films by reactive magnetron sputtering using a Sn-Ta metal-sintered target
執筆形態	共同
巻・号・頁	520,3746頁
著者・共著者	Y. Muto, S. Nakatomi, N. Oka, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, *Y. Shigesato