ハシモト オサム   HASHIMOTO Osamu
  橋本 修
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2005/08
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 「エリプソメトリー法を用いたミリ波帯における複素誘電率及び複素透磁率の同時測定法に関する検討」
執筆形態 共同
掲載誌名 『電子情報通信学会論文誌(B)』(電子情報通信学会)
掲載区分国内
巻・号・頁 (8),1532-1538頁
著者・共著者 山崎貴昭, 続山浩二, 酒井泰二, *橋本 修
概要 エリプソメトリー法を用いて、複素比誘電率と複素比透磁率を同時に測定する方法を検討した。検討では、5種類の測定条件を変える方法を提案し、理論検討により測定誤差を少なくできると推測される裏面条件を変化させる測定法を選択し、実験的に検討を行うことによりその有効性を確認した。