ハシモト オサム   HASHIMOTO Osamu
  橋本 修
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2003/10
形態種別 左記以外
査読 査読有り
標題 “A Study on the Measurement for Complex Permittivities by the Ellipsometry in Millimeter-Wave Band”
執筆形態 共同
掲載誌名 Progress in Electromagnetics Research Symposium
掲載区分国外
著者・共著者 K.Tsuzukiyama, T.Sakai, T.Yamazaki, and *O.Hashimoto
概要 本研究では、複素比誘電率測定として従来用いられるSパラメータ法に代わる新たな自由空間法として、ミリ波領域を対象としたエリプソメトリー測定システムを開発した。ここでは、エリプソメトリーパラメータを求めるための2次のフーリエ級数に含まれる高次成分を、フーリエ解析法に基づく補正により除去する、フーリエ解析補正エリプソメトリー法を提案し、その効果を示した。