ハシモト オサム   HASHIMOTO Osamu
  橋本 修
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2003/10
形態種別 左記以外
査読 査読有り
標題 “Ellipsometry for Measurement of Complex Dielectric Permittivity in Millimeter-Wave Region”
執筆形態 共同
掲載誌名 33rd European Microwave Conference
掲載区分国外
巻・号・頁 487-490頁
著者・共著者 K.Tsuzukiyama, T.Sakai, T.Yamazaki, and *O.Hashimoto
概要 近年、光学領域での屈折測定に広く用いられるエリプソメトリー法は、ミリ波領域における材料の複素比誘電率測定にまで応用されている。本研究では、自由空間法に基づく不確かさを排除するために、フーリエ解析を基にした効果的な技術を提案する。この結果、改良型エリプソメトリー法(FACE法と称す)により、複素比誘電率を高い精度で測定可能とすることに成功した。