マツヤ ヤスユキ   MATSUYA Yasuyuki
  松谷 康之
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2010/11
形態種別 学術雑誌
標題 歪率を用いた抵抗値電圧依存性の評価手法の検討
執筆形態 共同
掲載誌名 電気学会誌C
巻・号・頁 2084-2085頁
著者・共著者 島田
概要 多くのアナログ回路は抵抗および容量により回路性能を定めている。特にこれら素子の精度は回路の精度を定める主要因となっている。このためCMOSLSIに混載される高精度アナログ回路には、抵抗値の比精度が良く電圧依存性の小さなポリシリコン抵抗が用いられる。本論文では電圧依存性の小さな抵抗の新たな電圧依存性評価法を提案するとともに、微細CMOSプロセスで一般的になったシリサイドブロックされたポリシリコン抵抗の評価結果について述べ、提案評価法の有効性を示す