サワベ アツヒト
SAWABE Atsuhito
澤邊 厚仁 所属 青山学院大学 理工学部 電気電子工学科 職種 教授 |
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言語種別 | 日本語 |
発行・発表の年月 | 2004/01 |
形態種別 | 学術雑誌 |
標題 | ““Nano-rods” of single crystalline daiamond” |
執筆形態 | 共同 |
掲載誌名 | Diamond and Related Materials(Elsevier B.V) |
巻・号・頁 | 13,1011-1017頁 |
著者・共著者 | Y.Ando, Y.Nishibayashi, K.Kobayashi, and *A.Sawabe |
概要 | Ir下地表面へのダイヤモンドのヘテロエピタキシャル成長において、Ir表面にバイアス処理を行なった後にリソグラフィー技術を用いて、ダイヤモンドを選択成長させる部分にのみレジストを塗布し、その後、Arイオンビームにより、レジストを塗布した場所の他をすべてエッチングした。レジストを除去した後に直流プラズマCVD法でダイヤモンドを成長させたところ、方位の揃ったダイヤモンドが選択成長していることがあきらかになった。 |