シゲサト ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou
  重里 有三
   所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2022
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 透明導電膜スパッタ成膜プロセスの基礎
執筆形態 共同
掲載誌名 応用物理
掲載区分国内
巻・号・頁 91(3),160-163頁
著者・共著者 重里有三、岡伸人