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シゲサト ユウゾウ
SHIGESATO Yuuzou
重里 有三 所属 青山学院大学 理工学部 化学・生命科学科 職種 教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2017/06 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Structure and thermophysical properties of GaN films deposited by reactive sputtering using a metal Ga target |
| 執筆形態 | 共同 |
| 掲載誌名 | Journal of Vacuum Science & Technology A |
| 掲載区分 | 国外 |
| 出版社・発行元 | AIP Publishing |
| 巻・号・頁 | 35(4),pp.041507 1-041507 7 |
| 著者・共著者 | Y. Isosaki, Y. Yamashita and T. Yagi, J. Jia, N. Taketoshi, S. Nakamura, Y. Shigesato |