シゲサト ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou
  重里 有三
   所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2017/06
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 Structure and thermophysical properties of GaN films deposited by reactive sputtering using a metal Ga target
執筆形態 共同
掲載誌名 Journal of Vacuum Science & Technology A
掲載区分国外
出版社・発行元 AIP Publishing
巻・号・頁 35(4),pp.041507 1-041507 7
著者・共著者 Y. Isosaki, Y. Yamashita and T. Yagi, J. Jia, N. Taketoshi, S. Nakamura, Y. Shigesato