シゲサト　ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou   重里　有三    所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2014
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Study on reactive sputtering to deposit transparent conductive amorphous In2O3-ZnO films using an In-Zn alloy target
執筆形態	共同
巻・号・頁	(559),pp.49-52
著者・共著者	Naoki Tsukamoto, Sakae Sensui, Junjun Jia, Nobuto Oka, Yuzo Shigesato*