シゲサト　ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou   重里　有三    所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2013
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	In situ analyses on negative ions in the indium-gallium-zinc oxide sputtering process
執筆形態	共同
巻・号・頁	(103),pp.13501
著者・共著者	Junjun Jia, Yoshifumi Torigoshi, Yuzo Shigesato*