シゲサト ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou
  重里 有三
   所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2013
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 In situ analyses on negative ions in the indium-gallium-zinc oxide sputtering process
執筆形態 共同
巻・号・頁 (103),pp.13501
著者・共著者 Junjun Jia, Yoshifumi Torigoshi, Yuzo Shigesato*