シゲサト　ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou   重里　有三    所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2012
形態種別	学術雑誌
標題	Electronic state of amorphous indium gallium zinc oxide films deposited by dc magnetron sputtering with water vapor introduction
執筆形態	共同
巻・号・頁	5,075802頁