シゲサト ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou
  重里 有三
   所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2012
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 High-rate deposition of High-quality Sn-doped In2O3 films by reactive magnetron sputtering using alloy targets
執筆形態 共同
巻・号・頁 520,4101頁
著者・共著者 N. Oka, Y. Kawase, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, *Y. Shigesato