シゲサト ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou
  重里 有三
   所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2012
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 In-situ analyses on the reactive sputtering process to deposit Al doped ZnO films using an Al-Zn alloy target
執筆形態 共同
巻・号・頁 520,3751頁
著者・共著者 Tsukamoto, N. Oka, *Y. Shigesato