シゲサト　ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou   重里　有三    所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2012
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	In-situ analyses on the reactive sputtering process to deposit Al doped ZnO films using an Al-Zn alloy target
執筆形態	共同
巻・号・頁	520,3751頁
著者・共著者	Tsukamoto, N. Oka, *Y. Shigesato