シゲサト　ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou   重里　有三    所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2011
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Effect of Oxygen Impurity on Thermal Diffusivity of AlN Thin Films Deposited by Reactive rf Magnetron Sputtering
執筆形態	共同
巻・号・頁	50,11RB01頁
著者・共著者	T. Yagi, N. Oka, T. Okabe, N. Taketoshi, T. Baba, *Y. Shigesato