シゲサト ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou
  重里 有三
   所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2011
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 Effect of Oxygen Impurity on Thermal Diffusivity of AlN Thin Films Deposited by Reactive rf Magnetron Sputtering
執筆形態 共同
巻・号・頁 50,11RB01頁
著者・共著者 T. Yagi, N. Oka, T. Okabe, N. Taketoshi, T. Baba, *Y. Shigesato