シゲサト　ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou   重里　有三    所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2011
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Oxidation Resistance of Ti-Si-N and Ti-Al-Si-N Films Deposited by Reactive Sputtering Using Alloy Targets
執筆形態	共同
巻・号・頁	075802頁
著者・共著者	Kousuke Takahashi, Nobuto Oka, Maho yamaguchi, Yuka Seino, Kichiro Hattori, Sin-ich Nakamura, Yasushi Sato, and *Yuzo Shigesato