シゲサト ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou
  重里 有三
   所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2011
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 Oxidation Resistance of Ti-Si-N and Ti-Al-Si-N Films Deposited by Reactive Sputtering Using Alloy Targets
執筆形態 共同
巻・号・頁 075802頁
著者・共著者 Kousuke Takahashi, Nobuto Oka, Maho yamaguchi, Yuka Seino, Kichiro Hattori, Sin-ich Nakamura, Yasushi Sato, and *Yuzo Shigesato