シゲサト ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou
  重里 有三
   所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2011
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 In-situ analysis of positive and negative energetic ions generated during Sn-doped In2O3 deposition by reactive sputtering
執筆形態 共同
巻・号・頁 520,1182-1185頁
著者・共著者 Naoki Tsukamoto, Toshiyuki Tazawa, Nobuto Oka, Motoaki Saito, *Yuzo Shigesato