シゲサト ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou
  重里 有三
   所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2011
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 High-rate deposition of Sb-doped SnO2 films by reactive sputtering using the impedance control method
執筆形態 共同
巻・号・頁 520,1178-1181頁
著者・共著者 Yu Muto, Nobuto Oka, Naoki Tsukamoto, Yoshinori Iwabuchi, Hidefumi Kotsubo, *Yuzo Shigesato