シゲサト　ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou   重里　有三    所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2011
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	High-rate deposition of Sb-doped SnO2 films by reactive sputtering using the impedance control method
執筆形態	共同
巻・号・頁	520,1178-1181頁
著者・共著者	Yu Muto, Nobuto Oka, Naoki Tsukamoto, Yoshinori Iwabuchi, Hidefumi Kotsubo, *Yuzo Shigesato