イシカワ ヤスアキ   ISHIKAWA Yasuaki
  石河 泰明
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2003/11
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 Nucleation Control by Intermittent Supply of Dichlorosilane towards the Fabrication of Polycrystalline Silicon Thin Films with Large Grain Size
執筆形態 共同
掲載誌名 Jpn. J. Appl. Phys.
掲載区分国外
巻・号・頁 42,pp.6759-6765
著者・共著者 Yasuaki Ishikawa, Yukiharu Uraoka and Takashi Fuyuki
DOI 10.1143/JJAP.42.6759