イシカワ ヤスアキ   ISHIKAWA Yasuaki
  石河 泰明
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2020/02
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Highly-reliable amorphous InGaZnO with atomic layer deposited Al2O3 passivation using dimethylaluminum hydride at 200oC
執筆形態 共同
掲載誌名 J. Phys. D: Appl. Phys.
掲載区分国外
巻・号・頁 53,pp.165103-1-10
著者・共著者 Dianne Corsino, Juan Paolo Bermundo, Mami Fujii, Kiyoshi Takahashi, Yasuaki Ishikawa, and Yukiharu Uraoka,
DOI 10.1088/1361-6463/ab6e97