イシカワ ヤスアキ   ISHIKAWA Yasuaki
  石河 泰明
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2019/05
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 Removing Process of the Three-Dimension Periodic Nanostructure Fabricated from KMPR Photoresist
執筆形態 共同
掲載誌名 Jpn. J. Appl. Phys.
掲載区分国外
巻・号・頁 58,pp.SDDF08-1-7
著者・共著者 Xudongfang Wang, Yasuaki Ishikawa, Shinji Araki, Mutsunori Uenuma, and Yukiharu Uraoka
DOI 10.7567/1347-4065/ab0dea