イシカワ ヤスアキ   ISHIKAWA Yasuaki
  石河 泰明
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2019/02
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 The optical properties of silicon-rich-silion nitride prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition
執筆形態 共同
掲載誌名 Mater. Sci. Semicon. Proces.
掲載区分国外
巻・号・頁 90,pp.54-58
著者・共著者 Seiya Yoshinaga, Yasuaki Ishikawa, Yusuke Kawamura, Yuya Nakai, and Yukiharu Uraoka
DOI 10.1016/j.mssp.2018.09.029