スガワラ ヨシキ   SUGAWARA Yoshiki
  菅原 佳城
   所属   青山学院大学  理工学部 機械創造工学科
   職種   准教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2019
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 Deformation Direction and Curvature Control of Multilayer Thin Films Produced by Sputtering
執筆形態 共同
掲載誌名 Aerospace Technology Japan
掲載区分国内
巻・号・頁 17(6),pp.603-610
著者・共著者 Ryota Ikeda; Osamu Mori; Yasutaka Satoh; Yoshiki Sugawara