チョウ ヒデオ   CHO,Hideo
  長 秀雄
   所属   青山学院大学  理工学部 機械創造工学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 1998
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 Property evaluation of vapor-deposited TiN film by analysis elastic waves (2nd Report, Film strength estimated by AE source inversion during compressive loading)
執筆形態 共同
掲載誌名 JSME International Journal A
巻・号・頁 41, 3,446-451頁
著者・共著者 S.Ogawa, H.Cho, K.Yamanaka, M.Takemoto