チョウ　ヒデオ   CHO Hideo   長　秀雄    所属   青山学院大学  理工学部 機械創造工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1998
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Property evaluation of vapor-deposited TiN film by analysis elastic waves (2nd Report, Film strength estimated by AE source inversion during compressive loading)
執筆形態	共同
掲載誌名	JSME International Journal A
巻・号・頁	41, 3,446-451頁
著者・共著者	S.Ogawa, H.Cho, K.Yamanaka, M.Takemoto