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CHO Hideo
Department Aoyama Gakuin University Department of Mechanical Engineering, College of Science and Engineering Position Professor |
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| Language | English |
| Publication Date | 1996/05 |
| Type | Academic Journal |
| Peer Review | Peer reviewed |
| Title | Evaluation of surface defects using surface acoustic wave generated by phse velocity scanning of laser interference |
| Contribution Type | Collaboration |
| Journal | Jpn.J.Appl.Phy. (応用物理学会) |
| Volume, Issue, Page | 35,pp.3066-6069 |
| Author and coauthor | H.Sato, H.Cho, H.Nishino, H.Ogishi and K.Yamanaka |
| Details | レーザ干渉縞の位相速度走査法によって励起した100MHz帯の弾性表面波を用いてセラミックス表面に存在する数10μmの微小欠陥の検出を試みた。その結果,欠陥による散乱波を定量化すれば,欠陥の位置,形状を評価できることがわかった。また,欠陥の検出限界大きさは約20μm程度と考えられる |