チョウ ヒデオ   CHO,Hideo
  長 秀雄
   所属   青山学院大学  理工学部 機械創造工学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2006/01
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 Advanced indentation technique for strength evaluation of hard thin films
執筆形態 共同
掲載誌名 Science and technology of advanced materials (Elsevier)
巻・号・頁 97-103頁
著者・共著者 A.Yonezu, H.Cho, T.Ogawa and M.Takemoto
概要 硬さの異なる3種類の金属基板上にPVD法で堆積されたTiN膜の破壊強さを、押込み試験中のAEと腐食電位揺動の同時計測、計測データに基づいたFEMによって決定した。圧子圧入によって生成するリップルクラックの間隔を正確に測定する新しい技術を開発し、これを利用して膜破壊を発生させる表面引張り応力を計算した。膜の固有引張り強さは基材の種類に拘わらず0.9-1.4GPaであることを明らかにした。