チョウ ヒデオ   CHO,Hideo
  長 秀雄
   所属   青山学院大学  理工学部 機械創造工学科
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2006/01
形態種別 学術雑誌
査読 査読有り
標題 An advanced method for measuring the residual stress of deposited film utilizing laser spallation technique
執筆形態 共同
掲載誌名 Science and technology of advanced materials (Elsevier)
巻・号・頁 90-96頁
著者・共著者 R.Ikeda, T.Uchiyama, H.Cho, T.Ogawa and M.Takemoto
概要 PVD法で堆積された多結晶ダイヤモンドの残留応力を計測する新しい方法を開発して実測した。この方法では、強力なパルスレーザを用いて膨張進行波を発生させて膜を剥離させ、剥離形状(剥離高さ、直径)から残留応力を計算するが、膜物性が必要でないという大きな特徴を有している。計測残留応力はX線による測定値とよく一致し、有効性が実証できた。