コウ シンジ   KOH Shinji
  黄 晋二
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2002/01
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Surface Smoothing of SiGe Strain-Relaxed Buffer Layers by Chemical Mechanical Polishing
執筆形態 共同
掲載誌名 Materials Science & Engineering B
掲載区分国外
巻・号・頁 89,pp.406-409
著者・共著者 K. Sawano, K. Kawaguchi, T. Ueno, S. Koh, K. Nakagawa, and Y. Shiraki