コウ シンジ   KOH Shinji
  黄 晋二
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2003/04
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Relaxation Enhancement of SiGe Thin Layers by Ion Implantation into Si Substrates
執筆形態 共同
掲載誌名 Journal of Crystal Growth
掲載区分国外
巻・号・頁 251,pp.685-688
著者・共著者 K. Sawano, Y. Hirose, S. Koh, K. Nakagawa, T. Hattori, and Y. Shiraki