コウ シンジ   KOH Shinji
  黄 晋二
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2004/03
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Formation of thin SiGe virtual substrates by ion implantation into Si substrates
執筆形態 共同
掲載誌名 applied Surface Science
掲載区分国外
巻・号・頁 224,pp.99-103
著者・共著者 K. Sawano, S. Koh, Y. Hirose, T. Hattori, K. Nakagawa, and Y. Shiraki