ミツイ　トシユキ   MITSUI Toshiyuki   三井　敏之    所属   青山学院大学  理工学部 物理科学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1999/01
形態種別	学術雑誌
標題	“Nanolithography by selective chemical vapor deposition with an atomic hydrogen resist”
執筆形態	共同
掲載誌名	J. Appl. Phys.
巻・号・頁	85,522-4頁
著者・共著者	*T.Mitsui, E.Hill and E.Ganz