コウ シンジ   KOH Shinji
  黄 晋二
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2003/07
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Enhancement of Strain Relaxation of SiGe Thin Layers by Pre-Ion-Implantation into Si Substrates
執筆形態 共同
掲載誌名 Japanese Journal of Applied Physics
掲載区分国外
巻・号・頁 42,pp.L735-L737
著者・共著者 K. Sawano, Y. Hirose, Y. Ozawa, S. Koh, J. Yamanaka, K. Nakagawa, T. Hattori, and Y. Shiraki