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スガワラ ヨシキ
SUGAWARA Yoshiki
菅原 佳城 所属 青山学院大学 理工学部 機械創造工学科 職種 教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2019 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Deformation Direction and Curvature Control of Multilayer Thin Films Produced by Sputtering |
| 執筆形態 | 共同 |
| 掲載誌名 | Aerospace Technology Japan |
| 掲載区分 | 国内 |
| 巻・号・頁 | 17(6),pp.603-610 |
| 著者・共著者 | Ryota Ikeda; Osamu Mori; Yasutaka Satoh; Yoshiki Sugawara |