チョウ　ヒデオ   CHO Hideo   長　秀雄    所属   青山学院大学  理工学部 機械創造工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1996/05
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Evaluation of surface defects using surface acoustic wave generated by phse velocity scanning of laser interference
執筆形態	共同
掲載誌名	Jpn.J.Appl.Phy. (応用物理学会)
巻・号・頁	35,pp.3066-6069
著者・共著者	H.Sato, H.Cho, H.Nishino, H.Ogishi and K.Yamanaka
概要	レーザ干渉縞の位相速度走査法によって励起した100MHz帯の弾性表面波を用いてセラミックス表面に存在する数10μmの微小欠陥の検出を試みた。その結果,欠陥による散乱波を定量化すれば,欠陥の位置,形状を評価できることがわかった。また,欠陥の検出限界大きさは約20μm程度と考えられる