シゲサト　ユウゾウ   SHIGESATO Yuuzou   重里　有三    所属   青山学院大学  理工学部 化学・生命科学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2012/10
形態種別	単行本（著書）
標題	「半導体プロセス・形状シミュレーション技術-加工精度向上のツボ-」
執筆形態	共同
出版社・発行元	オーム社
著者・共著者	髙木茂行