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シゲサト ユウゾウ
SHIGESATO Yuuzou
重里 有三 所属 青山学院大学 理工学部 化学・生命科学科 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2011 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | In-situ analysis of positive and negative energetic ions generated during Sn-doped In2O3 deposition by reactive sputtering |
| 執筆形態 | 共同 |
| 巻・号・頁 | 520,1182-1185頁 |
| 著者・共著者 | Naoki Tsukamoto, Toshiyuki Tazawa, Nobuto Oka, Motoaki Saito, *Yuzo Shigesato |