ミツイ　トシユキ   MITSUI Toshiyuki   三井　敏之    所属   青山学院大学  理工学部 物理科学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2001/08
形態種別	学術雑誌
標題	“Selective nanoscale growth of titanium on the Si(001) surface using an atomic hydrogen resist”
執筆形態	共同
掲載誌名	J. Vac. Sci. Technol. A
巻・号・頁	19,563-7頁
著者・共著者	*T.Mitsui, R.Curtis and E.Ganz