イシカワ ヤスアキ
ISHIKAWA Yasuaki
石河 泰明 所属 青山学院大学 理工学部 電気電子工学科 職種 教授 |
|
言語種別 | 英語 |
発行・発表の年月 | 2020/02 |
形態種別 | 学術雑誌 |
査読 | 査読あり |
標題 | Highly-reliable amorphous InGaZnO with atomic layer deposited Al2O3 passivation using dimethylaluminum hydride at 200oC |
執筆形態 | 共同 |
掲載誌名 | J. Phys. D: Appl. Phys. |
掲載区分 | 国外 |
巻・号・頁 | 53,pp.165103-1-10 |
著者・共著者 | Dianne Corsino, Juan Paolo Bermundo, Mami Fujii, Kiyoshi Takahashi, Yasuaki Ishikawa, and Yukiharu Uraoka, |
DOI | 10.1088/1361-6463/ab6e97 |