イシカワ　ヤスアキ   ISHIKAWA Yasuaki   石河　泰明    所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2019/02
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	The optical properties of silicon-rich-silion nitride prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition
執筆形態	共同
掲載誌名	Mater. Sci. Semicon. Proces.
掲載区分	国外
巻・号・頁	90,pp.54-58
著者・共著者	Seiya Yoshinaga, Yasuaki Ishikawa, Yusuke Kawamura, Yuya Nakai, and Yukiharu Uraoka
DOI	10.1016/j.mssp.2018.09.029