イシカワ　ヤスアキ   ISHIKAWA Yasuaki   石河　泰明    所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2003/11
形態種別	学術雑誌
査読	査読あり
標題	Nucleation Control by Intermittent Supply of Dichlorosilane towards the Fabrication of Polycrystalline Silicon Thin Films with Large Grain Size
執筆形態	共同
掲載誌名	Jpn. J. Appl. Phys.
掲載区分	国外
巻・号・頁	42,pp.6759-6765
著者・共著者	Yasuaki Ishikawa, Yukiharu Uraoka and Takashi Fuyuki
DOI	10.1143/JJAP.42.6759