コウ シンジ   KOH Shinji
  黄 晋二
   所属   青山学院大学  理工学部 電気電子工学科
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2002/01
形態種別 学術雑誌
査読 査読あり
標題 Mobility Enhancement in Strained Si Modulation-Doped Structures by Chemical Mechanical Polishing
執筆形態 共同
掲載誌名 Applied Physics Letters
掲載区分国外
巻・号・頁 82,pp.412-414
著者・共著者 K. Sawano, S. Koh, Y. Shiraki, Y. Hirose, T. Hattori, and K. Nakagawa