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コウ シンジ
KOH Shinji
黄 晋二 所属 青山学院大学 理工学部 電気電子工学科 職種 教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2003/05 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 標題 | Surface Planarization of Strain-Relaxed SiGe Buffer Layers by CMP and Post Cleaning |
| 執筆形態 | 共同 |
| 掲載誌名 | Journal of Electrochemical Society |
| 掲載区分 | 国外 |
| 巻・号・頁 | 150,pp.G376-G379 |
| 著者・共著者 | K. Sawano, K. Kawaguchi, S. Koh, Y. Hirose, K. Nakagawa, T. Hattori, and Y. Shiraki |